温室气体通量在线观测系统由痕量级光声光谱多气体分析仪主机、可扩展可编程多点采样器、采样气室、采样管线、专用分析软件等构成。

便携气体分析仪利用单一光路测量平台可检测多种气体。当使用甲烷作为生物燃料时，单一气体分析仪是不可用的，因为该气体通常含有大量的CO作为污染物。

催化过程监测可控制光强、温度、湿度、压力、流量等催化反应装置，尺寸可定制，可定制不同类型光催化反应装置，两路为气体采样接口，配有粉尘颗粒物过滤器。

电池热失控监测基于紫外吸收光谱技术、红外光声光谱技术、腔增强吸收光谱技术、傅里叶红外光谱技术、可调谐半导体吸收光谱技术、热导技术、顺磁氧技术，拥有脉冲红外光源，通过窄带光学滤波片或半导体激光器，形成中...

温室气体通量观测系统可通过10种光学窄带滤波片实现，极窄的光学滤波可去除背景气体的干扰；多个光谱区域可有利于小的交叉灵敏度。多可同时测量10种气体。

SF6监测系统可支持64个采样点，按每个GIS使用6-8 个采样点来分配，即可同时检测 8-10台GIS的气密性。

EDK 6900P系列TDL激光微量便携气体分析仪高灵敏度和宽的动态量程，是可调谐半导体激光器光谱（TDLS）技术的基本特性，可用于测量sub-ppm到%范围的气体。

TDL激光微量在线气体分析仪基于非色散紫外吸收光谱NDUV技术来对氢气中Cl2进行分析。NDUV非色散紫外吸收光谱技术是确定复杂气体混合物中浓度的一种普遍方法。

空气分子污染物监测系统快速监测、报警、极低浓度测量、宽测量区域、多气体的高灵敏响应等是半导体工业要求之一。深紫外光刻工艺特别关注氨、胺类、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸类等浓度测量，当这些气体与化学放大光...

洁净室环境中的空气分子污染物AMC，内部来自建筑材料释出、设备和材料释出、腐蚀和光刻等工艺过程中化学药品逸散、人员产生、管路泄露、设备维护修理时散发等，外部来自环境空气中存在的气相污染物，以及洁净室的...