欢迎进入北京杜克泰克科技有限公司网站!
010-82433533

产品中心

Product Center

当前位置:首页产品中心其他设备AMC监测阿瑞斯-µVOC半导体洁净室气体分析监测系统

半导体洁净室气体分析监测系统
产品简介

半导体洁净室气体分析监测系统通过污染物源头控制、传播控制,实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现,持久监测AMC浓度,有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。

产品型号:阿瑞斯-µVOC
更新时间:2024-06-04
厂商性质:经销商
访问量:1767
详细介绍在线留言
品牌杜克泰克产地国产

半导体洁净室气体分析监测系统介绍:

        醋酸、草酸 、胺类、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷(HMDS)、邻苯二甲酸二辛酯(DOP)、邻苯二甲酸二丁酯(DBP)、邻苯二甲酸二乙酯(DEP)、异丙醇、丙酮、硼酸*酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有机物

空气分子污染物 (AMC) 对于高科技生产过程是关键性因素,特别是微电子行业,有机污染物是生产过程中的消极因素,会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。

        无空气分子污染物生产是理想的生产目标,通过污染物源头控制、传播控制,实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现,持久监测AMC浓度,有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。


半导体洁净室气体分析监测系统亮点

一般特点

在线连续质量监测全部自动化系统

低浓度VOC监测

独立分开测量有机物成份

Sub-ppb检测限

集成计算机和控制软件以及数据采集与处理功能。


工作原理

        GC气相色谱是分离多种复杂混合物常用的技术,这种技术依赖于挥发性有机混合气体在色谱柱的多组份分离。

当不同的挥发性有机物从色谱柱分离出来后通过氢气/空气火焰离子检测器探测电导率的变化,从而确定不同组份的浓度,*的吹扫和载气系统可使仪器达到sub-ppb检测限。












 

在线留言

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7