半导体洁净室气体分析监测系统通过污染物源头控制、传播控制，实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现，持久监测AMC浓度，有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。

温室气体通量在线观测系统由痕量级光声光谱多气体分析仪主机、可扩展可编程多点采样器、采样气室、采样管线、专用分析软件等构成。

电池热失控监测基于紫外吸收光谱技术、红外光声光谱技术、腔增强吸收光谱技术、傅里叶红外光谱技术、可调谐半导体吸收光谱技术、热导技术、顺磁氧技术，拥有脉冲红外光源，通过窄带光学滤波片或半导体激光器，形成中红外区多个光谱波段，用于⽓体分析；超⾼灵敏度基于增强悬臂梁光学⻨克风技术，可通过多种光学窄带滤波片实现，极窄的光学滤波可去除背景⽓体的干扰；多个光谱区域可有利于小的交叉灵敏度。

温室气体通量观测系统可通过10种光学窄带滤波片实现，极窄的光学滤波可去除背景气体的干扰；多个光谱区域可有利于小的交叉灵敏度。多可同时测量10种气体。

煤自燃束管监测特点：粉尘过滤器、单管、束管、分路箱、抽⽓泵、⽓体采样控制柜、监控微机、悬臂梁⻨克风光声光谱多⽓体分析仪、热导多⽓体分析仪、打印输出设备、网卡、系统软件组成。