半导体洁净室气体分析监测系统通过污染物源头控制、传播控制，实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现，持久监测AMC浓度，有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。

煤自燃束管监测特点：粉尘过滤器、单管、束管、分路箱、抽⽓泵、⽓体采样控制柜、监控微机、悬臂梁⻨克风光声光谱多⽓体分析仪、热导多⽓体分析仪、打印输出设备、网卡、系统软件组成。

空气分子污染物监测系统快速监测、报警、极低浓度测量、宽测量区域、多气体的高灵敏响应等是半导体工业要求之一。深紫外光刻工艺特别关注氨、胺类、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸类等浓度测量，当这些气体与化学放大光刻胶反生反应 时，将深深的影响半导体器件质量。

洁净室环境中的空气分子污染物AMC，内部来自建筑材料释出、设备和材料释出、腐蚀和光刻等工艺过程中化学药品逸散、人员产生、管路泄露、设备维护修理时散发等，外部来自环境空气中存在的气相污染物，以及洁净室的废气排放重新送回洁净室。

煤自燃束管监测基于红外光声光谱技术，具有测量精度⾼、检测限低、实时性好、原位在线、⾼效测量等优点， 可作为煤自燃大样实验台和小样实验台监测系统，也可为煤火灾害消防及火灾科学等多个方向的科学研究提供实验条件和煤矿⽣产提⾼效率。