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空气分子污染物监测集成了多点监测系统

更新时间:2024-07-18点击次数:291
  空气分子污染物对于高科技生产过程是关键性因素,特别是微电子行业,有机污染物是生产过程中的消极因素,会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。无空气分子污染物生产是理想的生产目标,通过污染物源头控制、传播控制,实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现,持久监测AMC浓度,有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。

  空气分子污染物监测集成了多点监测系统,可依序将气体抽送到分析仪或传感器,并读出测量结果。仪器基于腔增强吸收光谱技术,极简使用、便捷操作,所有部件(包括内置真空泵、键盘、鼠标、显示器等)几分钟内可开始记录数据,其他大气中的水汽、CO2、O2、甲烷等不会对HCL、HF、NH3等测量构成交叉干扰。内置计算机可以存储大量数据到内置硬盘上,可同过数字接口或者模拟接口传输数据,可通过互联网远程存储或记录数据,高质量的数据库,适合于苛刻的半导体痕量级气体应用。
 
  空气分子污染物监测设备的工作原理:
  GC气相色谱是分离多种复杂混合物常用的技术,这种技术依赖于挥发性有机混合气体在色谱柱的多组份分离。
  当不同的挥发性有机物从色谱柱分离出来后通过氢气/空气火焰离子检测器探测电导率的变化,从而确定不同组份的浓度,吹扫和载气系统可使仪器达到sub-ppb检测限。