技术文章
Technical articles越来越多的研究发现,在半导体圆片和液晶基板加工洁净室中,除了存在空气悬浮颗粒沾污外,还存在以气相或蒸汽形式存在的分子污染物(AirborneMolecularContaminants,AMC)。随着特征尺寸(CD)的不断缩小,AMC将会越来越严重地影响圆片和液晶基板加工质量和成品率,并会影响洁净室内工作人员的身体健康。文章介绍了AMC的分类、来源、危害性、控制标准和方法,希望以此引起人们对AMC的重视,并采取相应的控制措施。AMC可分为下列四类:(1)MA(Molecular...
垃圾分类这一政策虽然麻烦,但对于减少垃圾来说还是益处很大。北京第五座生活垃圾焚烧厂的负责人称,“生活垃圾分类后,垃圾热值能提升20%以上,大大提升了垃圾焚烧的发电量,随着垃圾分类工作的推进,一方面垃圾焚烧厂在环保排放控制方面的压力会降低,另一方面再生能源转换率会进一步提升。”大家都知道,垃圾的处理通常分为填埋和焚烧两种办法,现如今国家人口众多,没有多少地可以用来填埋垃圾,一般用焚烧的方法处理比较多,焚烧垃圾可以发电,但同时也会产生有害气体,所以需要监测气体排放,防止有害气体过...
固定污染源通常是指向环境排放或释放有害物质或对环境产生有害影响的场所、设备和装置。《国家大气污染物排放标准制订技术导则》(HJ945.1-2018)明确规定,固定污染源是指排放大气污染物的各类行业企业、场所、生产设施、固定设备等,简称固定源。《固定源废气监测技术规范》(HJ/T397—2007)指明,污染源是排放大气污染物的设施或建筑构造(如车间等)。固定源是燃煤、燃油、燃气的锅炉和工业炉窑以及石油化工、冶金、建材等生产过程中产生的废气通过排气筒向空气中排放的污染源。固定污染...