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AMC在线监测的操作流程介绍

更新时间:2023-04-19点击次数:2123
  AMC空气分析污染物监测猎户座 3100S 系统: 完善的空气分子污染(AMC)监测实时监测空气分子污染(AMC)对于半导体生产过程尤为重要。快速监测、报警、极低浓度测量、宽测量区域、多气体的高灵敏响应等是半导体工业要求之一。
 
  AMC在线监测的原理是利用空气质量传感器对大气中的微量污染物进行实时监测和分析,根据监测数据进行数据处理和报警。操作流程如下:
 
  1、空气采集:采用专业的气采系统对大气中的微量污染物进行采集。
 
  2、传感器监测:利用空气质量传感器对采集的空气样品进行实时监测和分析。
 
  3、数据处理:将监测到的数据进行处理和分析,得出相关的数据结果。
 
  4、报警处理:根据监测数据进行报警,提醒企业进行相应的环保和安全措施。