AMC监测快速监测、报警、极低浓度测量、宽测量区域、多气体的高灵敏响应等是半导体工业要求之一。
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智能离子迁移谱(SIMS)一大优势是可以使用环境大气作为缓冲气,这一优势就把使用成本减低为零。
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