洁净室环境中的空气分子污染物AMC，内部来自建筑材料释出、设备和材料释出、腐蚀和光刻等工艺过程中化学药品逸散、人员产生、管路泄露、设备维护修理时散发等，外部来自环境空气中存在的气相污染物，以及洁净室的废气排放重新送回洁净室。

增强离子迁移谱气体分析仪可提供达100 FWHM的分辨率，足以分辨异构体成分。SIMS的一大优势是可以使用环境大气作为缓冲气，这一优势就把使用成本减低为零。 SIMS仪器的离子迁移谱技术通过电晕放电（CD）电离源提升了灵敏度。

煤自燃束管监测基于红外光声光谱技术，具有测量精度⾼、检测限低、实时性好、原位在线、⾼效测量等优点， 可作为煤自燃大样实验台和小样实验台监测系统，也可为煤火灾害消防及火灾科学等多个方向的科学研究提供实验条件和煤矿⽣产提⾼效率。

AMC监测快速监测、报警、极低浓度测量、宽测量区域、多气体的高灵敏响应等是半导体工业要求之一。

电池热失控监测是指通过各种传感技术和数据分析手段，实时监控电池的状态，以便在电池发生热失控之前及时发现并采取相应的措施。