痕量级多组分气体分析仪由微量溴甲烷、硫酰氟红外光声光谱气体分析仪、微量溴甲烷、硫酰氟激光光声光谱气体分析仪、微量CO2激光光声光谱气体分析仪、常量溴甲烷、硫酰氟、非色散红外CO2分析仪、溴甲烷/硫酰氟/磷化氢报警器、声光报警器、数据处理分析计算机平台、分析与检定软件、控制机柜等构成。

痕量级多组分气体分析仪概述

痕量级杂质气体比如烃类、H2O、CO、CO2、NOx、N2、H2S等会对高纯氦、高纯氢、高纯氮、其他高纯气体的生产带来危害，长期存在会损坏生产设备和影响生产质量，甚至对使用高纯气体的装备带来致命威胁。杜克泰克公司的DKF10型痕量级多组分气体分析仪专门专业监测并分析ppm微量级、ppb超微量级杂质气体。

痕量级多组分气体分析仪原理

DKF10多气体分析仪基于红外光声光谱技术，拥有脉冲红外光源，通过窄带光学滤波片，形成中红外区10个光谱波段，用于气体分析；超高灵敏度基于zhuan利的拥有增强悬臂梁光学麦克风技术，可通过10种光学窄带滤波片实现，极窄的光学滤波可去除背景气体的干扰；多个光谱区域可有利于最小的交叉灵敏度。对采样响应结果按照改进的经典最小二乘法进行数据校准。

光声光谱技术可实现短光路光程的高灵敏度测量，更进一步提高了非线性补偿技术，可实现宽量程可达5级的线性动态量程比。

痕量级多组分气体分析仪气体：

1. 烃类：CH4、C2H6、C2H2、C2H4等

2. 无机气体：CO2、CO、N2O、SO2、NO、NO2,NH3、NF3、SF6、H2O等

3. 挥发性有机物VOCs：丙酮、乙醇、甲醇、苯、甲苯、二甲苯、甲醛等

4. 氟利昂（CFCs）及全氟化碳（PFCs）:CF4、C2F6、R-134a、R13等

5. 腐蚀性气体：HF、HCL、HCN等

6. 麻醉剂：异fu烷、七fu烷、地fu烷、安氟醚等；

7. 其他气体：N2、H2、O2、氯气等（可选、扩展探头）；

8. 被测气体可定制；

痕量级多组分气体分析仪应用

特性

优点：

1. 带有增强悬臂梁光学麦克风的红外光声光谱技术

2. 电子脉冲红外光源

3. 镀金采样气室恒定温度50℃

4. zhuan利超灵敏的基于MEMS悬臂梁传感器光学麦克风，耦合激光干涉测量悬臂梁微观移动

5. 19"3U工业机箱，适用于全部台式或机架固定安装

6. 内置带有5.7"前置显示器的嵌入式计算机可设置气体报警阈值

7. 数据存储约2GB，连续存储9种气体可达1年

8. 测量结果可以通过U盘，USB口，Ethernet网口，串口导出

9. 后面板有四路气体连接口，两路为采样接口，配有粉尘颗粒物过滤器

10. 自动补偿温度、压力等变化工况的干扰

11. 自动去除包括水汽、颗粒物等采样气体的干扰

技术参数：

12. 响应时间：据通道积分时间(C.I.T.)和气体置换周期，典型30s到几分钟；

13. 检测限：根据气体，典型sub-ppm，可定制；

14. 重复性：1%测量结果，在标定条件下

15. 准确度：典型2～5%

16. 动态量程：典型5级，（100,000倍检测限）

17. 零点漂移：±1检测限/年

18. 量程漂移：3%测量值/年

19. 工作条件：

20. 温度范围：0℃～+45℃湿度范围：低于90%RH,无凝露

21. 压力范围：大气压

22. 防护等级：IP20(IEC 529)

23. 振动试验：33 Hz强振

24. 储存条件：

25. 温度范围：-20℃～+60℃

26. 采样条件：

27. 温度范围：0～+49℃无凝露

28. 压力范围：930 mbar～1100 mbar

29. 湿度范围：露点+8℃或更高

30. 气体流量：约1L/m

31. 颗粒物：<1μm

32. 总采气量：<30mL，可配抽气泵（负压100hPa）最远距离100米；

33. 气体接口：带有快速插头的6/4mm管，可定制；

34. 尺寸：48.4cm W x 13.9cm H x 44cm D

35. 重量：约13 kg

36. 电气接口

37. 工作电源：100～240VAC,50～60 Hz

38. 输入功率：100W

39. 通讯接口：Ethernet、USB、RS232、RS485

标准：

低压测量指令2006/95/EC和电磁兼容EMC指令2004/108/EC EN 50270:2006,EN 61000-3-2:2006,EN 61000-3-3:1995+A1:2001+A2:2005,EN

61010-1:2001

安全标准：EN61010-1(2001),IEC 61010-1(2001),CAN/CSA-C22.2 No.61010-1(2004)和UL 61010-1(2004 incl.rev.2005)