痕量级多组分气体分析仪由微量溴甲烷、硫酰氟红外光声光谱气体分析仪、微量溴甲烷、硫酰氟激光光声光谱气体分析仪、微量CO2激光光声光谱气体分析仪、常量溴甲烷、硫酰氟、非色散红外CO2分析仪、溴甲烷/硫酰氟/磷化氢报警器、声光报警器、数据处理分析计算机平台、分析与检定软件、控制机柜等构成。

痕量级多组分气体分析仪

概述

痕量级杂质气体比如烃类、H₂O、CO、CO₂、NOx、N₂、H2S等会对高纯氦、高纯氢、高纯氮、其他高纯气体的生产带来危害，长期存在会损坏生产设备和影响生产质量，甚至对使用高纯气体的装备带来致命威胁。杜克泰克公司的DKF10型痕量级多组分气体分析仪专门专业监测并分析ppm微量级、ppb超微量级杂质气体。

痕量级多组分气体分析仪

原理

DKF10多气体分析仪基于红外光声光谱技术，拥有脉冲红外光源，通过窄带光学滤波片，形成中红外区10个光谱波段，用于气体分析；超高灵敏度基于拥有增强悬臂梁光学麦克风技术，可通过10种光学窄带滤波片实现，极窄的光学滤波可去除背景气体的干扰；多个光谱区域可有利于小的交叉灵敏度。对采样响应结果按照改进的经典小二乘法进行数据校准。

光声光谱技术可实现短光路光程的高灵敏度测量，更进一步提高了非线性补偿技术，可实现宽量程可达5级的线性动态量程比。

气体：

烃类：CH₄、C₂H₆、C₂H₂、C₂H₄等

无机气体：CO₂、CO、N₂O、SO₂、NO、NO_2、NH₃、NF₃、SF₆、H₂O等

挥发性有机物VOCs：丙酮、乙醇、甲醇、苯、甲苯、二甲苯、甲醛等

氟利昂（CFCs）及全氟化碳（PFCs）:CF₄、C₂F₆、R-134a、R13等

腐蚀性气体：HF、HCL、HCN等

其他气体：N₂、H₂、O₂、氯气等（可选、扩展探头）；

被测气体可定制；