增强离子迁移谱气体分析仪可提供达100 FWHM的分辨率，足以分辨异构体成分。SIMS的一大优势是可以使用环境大气作为缓冲气，这一优势就把使用成本减低为零。 SIMS仪器的离子迁移谱技术通过电晕放电（CD）电离源提升了灵敏度。